| 发明名称 |
FORMING METHOD OF THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05226335(A) |
申请公布日期 |
1993.09.03 |
| 申请号 |
JP19920025622 |
申请日期 |
1992.02.13 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KANEKO HISAFUMI;HASUNUMA MASAHIKO;TOYODA HIROSHI;KAJITA AKIHIRO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
