| 发明名称 |
SILICON SUBSTRATE STRUCTURE FOR SENSOR AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05226674(A) |
申请公布日期 |
1993.09.03 |
| 申请号 |
JP19920312095 |
申请日期 |
1992.11.20 |
| 申请人 |
KOREA ADVANCED INST OF SCI TECHNOL |
发明人 |
SHIYU HEIKAN;GO MEIKAN |
| 分类号 |
G01L9/04;G01L9/00;H01L21/02;H01L21/30;H01L27/12;H01L29/84 |
主分类号 |
G01L9/04 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
