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摘要
申请公布号
JPH05226477(A)
申请公布日期
1993.09.03
申请号
JP19920029134
申请日期
1992.02.17
申请人
SHARP CORP
发明人
IKEDA YUUJIROU
分类号
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L27/10
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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