DRY ETCHING METHOD,申请号JP19920056566-传众专利搜索

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发明名称	DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	JPH05226303(A)	申请公布日期	1993.09.03
申请号	JP19920056566	申请日期	1992.02.10
申请人	SONY CORP	发明人	TATSUMI TETSUYA
分类号	C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
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