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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0561063(B2)	申请公布日期	1993.09.03
申请号	JP19850033497	申请日期	1985.02.21
申请人	CANON KK	发明人	KARYA TAKUO
分类号	H01L21/683;B23Q3/15;H01J37/20;H01L21/67;(IPC1-7):B23Q3/15;H01L21/68	主分类号	H01L21/683
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