发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE TRANSFER JIG
摘要
申请公布号 JPH05226450(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920011489 申请日期 1992.01.27
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIZAWA SHIGEYUKI
分类号 H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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