发明名称 FORMING METHOD OF CAPACITOR INSULATING FILM
摘要
申请公布号 JPH05226330(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920011525 申请日期 1992.01.27
申请人 NEC CORP 发明人 TOMIKI HIDEFUMI
分类号 H01L21/318;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
地址