发明名称 Process and device for surface-modification by physico-chemical reactions of gases or vapours on surfaces, using highly-charged ions
摘要
申请公布号 AU3452393(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 AU19930034523 申请日期 1993.01.30
申请人 HELMUT HOFFMEISTER 发明人 JURGEN ANDRA
分类号 C23C16/26;C23C16/27;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/48;C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;C30B33/00;H01J37/317;(IPC1-7):C23C16/48 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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