发明名称 POSITIVE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH05224410(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920025158 申请日期 1992.02.12
申请人 FUJI PHOTO FILM CO LTD 发明人 KAWABE YASUMASA;AOSO TOSHIAKI;KOKUBO TADAYOSHI
分类号 G03F7/022;H01L21/027 主分类号 G03F7/022
代理机构 代理人
主权项
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