发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05226661(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920029561 申请日期 1992.02.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HARADA MANA
分类号 H01L21/225;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/739;H01L29/78 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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