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发明名称
SOG APPLICATOR
摘要
申请公布号
JPH05226482(A)
申请公布日期
1993.09.03
申请号
JP19920023460
申请日期
1992.02.10
申请人
HITACHI LTD
发明人
KUSHIMA YUKIMOTO;TAKAHASHI YUJI
分类号
H01L21/316;H01L21/768
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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