MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19920025118-传众专利搜索

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发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPH05226324(A)	申请公布日期	1993.09.03
申请号	JP19920025118	申请日期	1992.02.12
申请人	SEIKO EPSON CORP	发明人	SEKI TETSUYA
分类号	C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/76;H01L21/822;H01L27/04	主分类号	C23F4/00
代理机构		代理人
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