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发明名称 ION BEAM NEUTRALIZING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05225948(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920029657 申请日期 1992.02.17
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 SENOO KAZUHIRO
分类号 H01L21/265;C23C14/48;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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