| 发明名称 |
SELECTIVE GROWTH METHOD OF LAYER CONTAINING GALLIUM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05226249(A) |
申请公布日期 |
1993.09.03 |
| 申请号 |
JP19920318051 |
申请日期 |
1992.11.27 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPH & TELEGR CO <ATT> |
发明人 |
KAMII RENII ABAANASUI;SUCHIIBUN JIYON PIAATON;FUAN REN;PATORITSUKU UIRIAMU UISUKU |
| 分类号 |
C23C16/30;C30B25/14;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/306;H01L21/331;H01L29/205 |
主分类号 |
C23C16/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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