发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05226333(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920024193 申请日期 1992.02.12
申请人 SHARP CORP 发明人 KATSURAGI MASARU
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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