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经营范围
发明名称
FORMING METHOD OF THERMAL OXIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH05226326(A)
申请公布日期
1993.09.03
申请号
JP19920023868
申请日期
1992.02.10
申请人
YOKOGAWA ELECTRIC CORP
发明人
UEHARA HIDETOSHI
分类号
H01L21/316;H01L21/76
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
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