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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05226271(A) 申请公布日期 1993.09.03
申请号 JP19920026994 申请日期 1992.02.14
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 FURUHATA HIROAKI;OKABAYASHI TAKEKI
分类号 H01L21/225;H01L21/22 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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