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经营范围
发明名称
DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH05226345(A)
申请公布日期
1993.09.03
申请号
JP19920001116
申请日期
1992.01.08
申请人
NEC CORP
发明人
MURAMATSU YOSHITOKU
分类号
H01L21/316;H01L21/324
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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