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发明名称 UEBERWACHUNGSVERFAHREN FUER EINE REAKTIVE PLASMAMASCHINE.
摘要
申请公布号 DE69100086(T2) 申请公布日期 1993.09.02
申请号 DE19916000086T 申请日期 1991.12.19
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.A., GENTILLY, FR 发明人 DE VILLENEUVE, THIERRY, CABINET BALLOT-SCHMIT, F-75116 PARIS, FR;DOMERGUE, BERNARD, CABINET BALLOT-SCHMIT, F-75116 PARIS, FR
分类号 G05B19/042;(IPC1-7):G05B19/04 主分类号 G05B19/042
代理机构 代理人
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