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发明名称
NICHTFLUECHTIGE, DURCH ULTRAVIOLETTE STRAHLUNG LOESCHBARE HALBLEITERSPEICHERANORDNUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG.
摘要
申请公布号
DE3881074(T2)
申请公布日期
1993.09.02
申请号
DE19883881074T
申请日期
1988.02.24
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP
发明人
MORI, SEIICHI C/O PATENT DIVISION, MINATO-KU TOKYO 105, JP
分类号
H01L21/3105;H01L21/768;(IPC1-7):H01L29/78;H01L27/10;H01L21/31
主分类号
H01L21/3105
代理机构
代理人
主权项
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