发明名称 Verfahren zum Eindiffundieren oder Einlegieren eines Dotierstoffes in einen Halbleiterkörper in Gegenwart eines Katalysators
摘要
申请公布号 AT312055(B) 申请公布日期 1973.12.10
申请号 AT19710002792 申请日期 1971.04.01
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人
分类号 H01L21/00;H01L29/00;H01L29/167;(IPC1-7):H01L7/44 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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