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发明名称 PROBE CARD APPARATUS AND METHOD OF PROVIDING SAME WITH RECONFIGURABLE PROBE CARD CIRCUITRY
摘要
申请公布号 EP0288801(B1) 申请公布日期 1993.09.01
申请号 EP19880105610 申请日期 1988.04.08
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 HOREL, TIMOTHY ALAN;HOYT, EDWARD STANLEY;WALLS, LLOYD ANDRE
分类号 G01R31/26;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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