METHOD FOR SELECTIVELY GROWING ALUMINUM-CONTAINING LAYERS,申请号EP19920310487-传众专利搜索

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发明名称	METHOD FOR SELECTIVELY GROWING ALUMINUM-CONTAINING LAYERS
摘要
申请公布号	EP0544437(A3)	申请公布日期	1993.09.01
申请号	EP19920310487	申请日期	1992.11.18
申请人	AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY	发明人	ABERNATHY, CAMMY RENEE';PEARTON, STEPHEN JOHN;REN, FAN;WISK, PATRICK WILLIAM
分类号	C23C16/18;C30B23/08;H01L21/20;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/331;H01L29/205;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	C23C16/18
代理机构		代理人
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