| 发明名称 |
DISPOSAL OF AQUEOUS PHOTORESIST WASTE BY SETTLING ACID/CUPRIC CHLORIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05220487(A) |
申请公布日期 |
1993.08.31 |
| 申请号 |
JP19920259347 |
申请日期 |
1992.09.29 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
AREN JIEFUAASON EABU |
| 分类号 |
B01D21/01;C02F1/52;C02F1/62 |
主分类号 |
B01D21/01 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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