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发明名称 PRODUCTION OF SILICON NITRIDE POWDER
摘要
申请公布号 JPH05221617(A) 申请公布日期 1993.08.31
申请号 JP19920059811 申请日期 1992.02.14
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 KUWABARA HARUYOSHI;NOGUCHI NAOYA;OTSUKA AKIO;KASHIDA SHU
分类号 C01B21/068 主分类号 C01B21/068
代理机构 代理人
主权项
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