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发明名称
ROTARY CATHODE TARGET CONSISTING OF CERAMIC AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号
JPH05222527(A)
申请公布日期
1993.08.31
申请号
JP19920312882
申请日期
1992.10.28
申请人
ASAHI GLASS CO LTD
发明人
KIDA OTOJIRO;HAYASHI ATSUSHI
分类号
C23C4/04;C23C14/34
主分类号
C23C4/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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