发明名称 ROTARY CATHODE TARGET CONSISTING OF CERAMIC AND PRODUCTION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05222527(A) 申请公布日期 1993.08.31
申请号 JP19920312882 申请日期 1992.10.28
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 KIDA OTOJIRO;HAYASHI ATSUSHI
分类号 C23C4/04;C23C14/34 主分类号 C23C4/04
代理机构 代理人
主权项
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