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发明名称 CANTILEVER STYLUS FOR USE IN AN ATOMIC FORCE MICROSCOPE AND METHOD OF MAKING SAME
摘要
申请公布号 US5239863(A) 申请公布日期 1993.08.31
申请号 US19910699951 申请日期 1991.05.14
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 发明人 KADO, HIROYUKI;TOHDA, TAKAO
分类号 G01B21/30;C23F1/02;G01B7/34;G01N37/00;G01Q60/38;G01Q60/40;G01Q60/42;G01R3/00;H01J37/20;H01J37/28;H01L21/465;H05K3/06 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
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