发明名称 METHOD FOR FABRICATING A FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 US5240869(A) 申请公布日期 1993.08.31
申请号 US19910785109 申请日期 1991.10.30
申请人 MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 NAKATANI, MITSUNORI
分类号 H01L21/28;H01L21/285;H01L21/338;H01L29/423;H01L29/812 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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