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发明名称 MANUFACTURE OF THIN FILM AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH05222521(A) 申请公布日期 1993.08.31
申请号 JP19920023502 申请日期 1992.02.10
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHINTAKU HIDENOBU;SUZUKI SHIGEO;KODAMA KAYOKO
分类号 C23C14/20;C23C14/24 主分类号 C23C14/20
代理机构 代理人
主权项
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