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发明名称
PRODUCTION OF MIXED OXIDE THIN FILM BY HIGH-FREQUENCY ION PLATING
摘要
申请公布号
JPH05222523(A)
申请公布日期
1993.08.31
申请号
JP19920022615
申请日期
1992.02.07
申请人
NIKON CORP
发明人
OSHIKAWA SATORU
分类号
C23C14/08;C23C14/32
主分类号
C23C14/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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