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发明名称
HANDOTAIPERETSUTONOONDOTOKUSEISOKUTEIHOSHIKI
摘要
申请公布号
JPS5136877(A)
申请公布日期
1976.03.27
申请号
JP19740109762
申请日期
1974.09.24
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
GOTO FUMIO
分类号
H01L21/66;G01R31/26
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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