发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05217916(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920046050 申请日期 1992.01.31
申请人 NEC CORP 发明人 SAITO YOSHIHARU
分类号 H01L21/205;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/324;H01L21/331;H01L29/73 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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