发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05218449(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920016997 申请日期 1992.01.31
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 OKIMOTO NOBUYUKI
分类号 H01L21/318;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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