STORAGE AND CONVEYANCE OF SEMICONDUCTOR DEVICE OR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE,申请号JP19920016667-传众专利搜索

发明名称	STORAGE AND CONVEYANCE OF SEMICONDUCTOR DEVICE OR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPH05218174(A)	申请公布日期	1993.08.27
申请号	JP19920016667	申请日期	1992.01.31
申请人	FUJITSU LTD	发明人	NAKAMURA MAKOTO
分类号	H01L21/304;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68	主分类号	H01L21/304
代理机构		代理人
主权项
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