| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR INSULATING FILM OF THIN FILM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05218004(A) |
申请公布日期 |
1993.08.27 |
| 申请号 |
JP19920019197 |
申请日期 |
1992.02.04 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NAKAHIGASHI TAKAHIRO;KUWABARA SO |
| 分类号 |
C23C16/00;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/515;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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