发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED-CIRCUIT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH05218324(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920261927 申请日期 1992.09.30
申请人 S G S THOMSON MICROELECTRON INC 发明人 CHIEESHIA UEI
分类号 H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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