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发明名称 WASHING METHOD OF WAFER
摘要
申请公布号 JPH05217987(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920021146 申请日期 1992.02.06
申请人 SHARP CORP 发明人 ONISHI SHIGEO;ORITA SHIROHIKO
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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