| 摘要 |
<P>La présente invention concerne un micro-capteur de pression constitué d'un empilement de trois plaquettes de silicium en contact par leur périphérie avec interposition d'une couche isolante pour définir une cavité interne. La plaquette inférieure (2) comprend une région amincie (21) formant membrane, du côté de sa face interne. La plaquette centrale (1) comprend une région périphérique (11) formant cadre solidaire des plaquettes supérieure et inférieure par l'intermédiaire d'une couche d'oxyde de silicium (24, 25), un premier plot (13) monté sur la région amincie de la plaquette inférieure, un deuxième plot (14) monté sur une région épaisse de la plaquette inférieure, et une lame de silicium (15) formant résonateur disposée entre les faces supérieures des premier et deuxième plots en regard de la plaquette supérieure (3). Une première électrode (32) est liée à la plaquette supérieure, une deuxième électrode (33) au cadre et une troisième électrode (31) au deuxième plot.</P>
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