发明名称 SURFACE PROCESSING OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH05217968(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920017920 申请日期 1992.02.03
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 ODA MUNETAKA;SHIRAISHI TADAYOSHI;KANEKO YOSHIO
分类号 H01L21/302;H01L21/304 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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