发明名称 PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号 JPH05217844(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920015524 申请日期 1992.01.30
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 AOKI SHINICHIRO;SUGIYAMA YOSHIYUKI;YAMASHITA HIROSHI;NAKANISHI YOSHITO
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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