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经营范围
发明名称
PROJECTION ALIGNER
摘要
申请公布号
JPH05217844(A)
申请公布日期
1993.08.27
申请号
JP19920015524
申请日期
1992.01.30
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
AOKI SHINICHIRO;SUGIYAMA YOSHIYUKI;YAMASHITA HIROSHI;NAKANISHI YOSHITO
分类号
G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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