| 摘要 |
<P>La présente invention concerne un micro-capteur capacitif comprenant un sandwich de trois plaquettes de silicium (1, 2, 3), une bande périphérique de chaque face de la plaquette centrale étant accolée à une bande correspondante de la face en regard d'une plaquette externe par l'intermédiaire d'une bande isolante (5, 6), l'une au moins des plaquettes externes constituant une première électrode (22, 23), la plaquette centrale constituant une deuxième électrode (21) et au moins une partie de cette plaquette centrale formant une capacité variable avec au moins l'une des plaquettes externes. Au moins une des bandes isolantes est constituée d'un sandwich d'une première couche isolante (5-1, 6-1), d'une couche conductrice (5-2, 6-2) et d'une deuxième couche isolante (5-3, 6-3), la couche conductrice étant associée à des moyens de connexion (25, 26).</P> |
