HEAT TREATING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR WAFER,申请号JP19920022246-传众专利搜索

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发明名称	HEAT TREATING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号	JPH05217927(A)	申请公布日期	1993.08.27
申请号	JP19920022246	申请日期	1992.02.07
申请人	SUMITOMO ELECTRIC IND LTD	发明人	WAKAMIYA KENJI
分类号	C30B33/02;H01L21/22	主分类号	C30B33/02
代理机构		代理人
主权项
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