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发明名称
SUBSTRATE PROCESSING CONTAINER
摘要
申请公布号
JPH05217977(A)
申请公布日期
1993.08.27
申请号
JP19920022791
申请日期
1992.02.07
申请人
MITSUI TOATSU CHEM INC
发明人
GOTO YOSHIHISA;ITO KATSUHIKO
分类号
C08G73/10;H01L21/304;H01L21/306
主分类号
C08G73/10
代理机构
代理人
主权项
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