发明名称 MOSIC AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05218406(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920022751 申请日期 1992.02.07
申请人 SONY CORP 发明人 TAKIZAWA MASAAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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