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发明名称
摘要
申请公布号 JPH05505894(A) 申请公布日期 1993.08.26
申请号 JP19900515206 申请日期 1990.11.13
申请人 发明人
分类号 G01L1/22;G05F1/10;G05F1/46;G05F1/56;G05F1/567;(IPC1-7):G05F1/56 主分类号 G01L1/22
代理机构 代理人
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