Optical switch.

摘要

Ein optischer Schalter enthält eine ortsfeste Siliziumplatte (14) und eine relativ zu dieser bewegbare Siliziumplatte (15). Beide Siliziumplatten (14, 15) sind jeweils aus derselben Ausgangsplatte (2) hergestellt, tragen Lichtwellenleiterenden (17...22) und enthalten parallel zu diesen orientierte Referenzflächen (9, 10) zur genauen Festlegung ihres relativen Schaltweges. Zumindest ein an einer der Siliziumplatten (14) befestigtes Zwischenteil (30) ragt über eine Referenzfläche (9) hinaus und steht der Referenzfläche (10) der anderen Siliziumplatte (15) schaltwegbegrenzend gegenüber. <IMAGE>