| 发明名称 |
METHOD FOR ELIMINATING ILLUMINATION IRREGULARITY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5360626(A) |
申请公布日期 |
1978.05.31 |
| 申请号 |
JP19760135279 |
申请日期 |
1976.11.12 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OSADA MIKIO;KAWAMURA NOBUKI |
| 分类号 |
G03B27/54;G02B5/22;G02B27/00;G03B27/32;H01L21/00 |
主分类号 |
G03B27/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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