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发明名称 THIN FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2229739(B) 申请公布日期 1993.08.25
申请号 GB19900003602 申请日期 1990.02.16
申请人 NOBUO * MIKOSHIBA;KAZUO * TSUBOUCHI 发明人 NOBUO * MIKOSHIBA;KAZUO * TSUBOUCHI
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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