发明名称 SOLID SUBLIMATING VAPORIZER
摘要
申请公布号 JPH05214537(A) 申请公布日期 1993.08.24
申请号 JP19920014894 申请日期 1992.01.30
申请人 NEC CORP 发明人 NUMAZAWA YOICHIRO
分类号 B01D7/00;C23C16/44;C23C16/448 主分类号 B01D7/00
代理机构 代理人
主权项
地址