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发明名称 SCANNING-MICROSCOPE PROBE, DISPLACEMENT DETECTING METHOD FOR SCANNING-MICROSCOPE PROBE AND SCANNING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05215544(A) 申请公布日期 1993.08.24
申请号 JP19920019209 申请日期 1992.02.04
申请人 NIKON CORP 发明人 SUZUKI YOSHIHIKO
分类号 G01B7/34;G01B7/00;G01B21/30;G01Q20/00;G01Q60/38;H01J37/28 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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